CONTOURGT INMOTION


• Rápido, sin contacto, alta precisión en estática y dinámica 3D
• Caracterización de micro-dispositivos
• Amplia gama de frecuencias de operación de 11 Hz a 2.4 MHz
• Frecuencia, amplitud y fase de respuesta caracterización
• Resolución vertical en sub nanómetros
• La medición precisa de las características de 0,1 nm a 10mm de altura en modo dinámico y estático.

 

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